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工具顯微鏡的 數(shù)顯系統(tǒng)的檢定

 數(shù)顯系統(tǒng)的檢定 

    根據(jù)萬(wàn)工顯檢定規(guī)程中的相關(guān)規(guī)定，需要檢定讀數(shù)裝置的示值差別、讀數(shù)裝置的回程差別和示值差別。 

（ 1 ） 讀數(shù)裝置的示值差別檢定 

    對(duì)數(shù)顯系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，讀數(shù)裝置的示值差別就是數(shù)顯表的*小分辨率，即± 0.5 μ m ，無(wú)須檢定。 

（ 2 ）讀數(shù)裝置的示值差別的檢定（相當(dāng)于磁柵尺的重復(fù)性） 

    光柵尺讀數(shù)裝置就其構(gòu)造和原理來(lái)說(shuō)是沒(méi)有回程差別的，當(dāng)然這需要很高的工藝水平做保證。通過(guò)用 0.1 μ m 的電感測(cè)微儀反復(fù)測(cè)試，光柵尺讀數(shù)裝置的回程差別不超過(guò) 0.5 μ m 。 

（ 3 ）示值差別的檢定（相當(dāng)于磁柵尺的準(zhǔn)確性） 

    用檢定極限差別不大于 0.5 μ m 的玻璃刻度尺作為標(biāo)準(zhǔn)，按照規(guī)程規(guī)定的條件方法對(duì)縱、橫向分別進(jìn)行檢定；若沒(méi)有玻璃刻度尺，可用萬(wàn)工顯原有的刻度尺與光柵尺進(jìn)行比較檢定，并用儀器原有的示值差別進(jìn)行修正，以確定光柵尺各被檢點(diǎn)的實(shí)際差別，若有超差再用線性補(bǔ)償系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)償。